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          半導體加工石墨粉需滿(mǎn)足的要求
          
        
          來(lái)源：未知時(shí)間：2022-10-28 13:11打印打印 字號:T|T
          
        
   
  
          一部分半導體生產(chǎn)制造過(guò)程中，會(huì )添加石墨粉提高性能，但需要考慮石墨粉純度、粒度分布，耐高溫性等等
          
  
  
          
      
          
	　　一部分半導體生產(chǎn)制造過(guò)程中，會(huì )添加石墨粉提高性能，但需要考慮石墨粉純度、粒度分布，耐高溫性等等。下面及時(shí)半導體加工用石墨粉的要求：
          

          
	　　1、純度高
          

          
	　　對石墨粉純度要求很高，如果雜質(zhì)含量多，會(huì )污染半導體材料。因此除對所應用石墨粉的純度嚴控外，還需經(jīng)過(guò)高溫石墨化處理，以降低灰分。
          

          
	　　2、粒度分布高
          

          
	　　用以煅燒的磨具規定生產(chǎn)加工精密度很高，石墨粉顆粒物度要細，顆粒物度細的石墨非常容易超過(guò)生產(chǎn)加工精密度，且高溫抗壓強度高，耗損小。
          

          
	　　3、耐熱
          

          
	　　半導體工業(yè)生產(chǎn)常用石墨器件大多要反復加熱和冷卻，所以石墨材料在高溫條件下，應具備優(yōu)良的尺寸穩定性和耐熱沖擊性能，以提升石墨器件的使用壽命，
          

          
	石墨粉
          

          
	文章地址：http://kennedyspacecenterlaunch.com/ComNews/639.html
          

      
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